信息更新: 2013年12月19日

通过与导槽并用的方式设定落座位置

与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂

独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架

采用抗干扰光的变调光方式

使用环保导线(无滑石粉)

信息更新: 2013年12月19日

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EE-SPY801 / 802 晶圆片托架落座传感器

EE-SPY801 / 802 晶圆片托架落座传感器
信息更新: 2013年12月19日 通过与导槽并用的方式设定落座位置 与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂 独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架 采用抗干扰光的变调光方式 使用环保导线(无滑石粉) 信息更新: 2013年12月19日