SMC PFM711S-N02L-E-M 流量传感器 产品样本手册 Datasheet
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数字流量开关-pfm7系列

SMC 的 PFM 系列为双流量开关，设计用于检测真空中的微芯片元件吸收以及过滤器和喷嘴中的拥塞。 紧凑型轻便设计，适用于二氧化碳、空气、氮气或氩气。

流率范围:10、25、50,100l/min
最小单位设置:0.01l/min
重复性:±1%F.S. 或更低！
润滑脂-自由
流量调节阀集成-减少布管和节省空间的
响应时间可设置