产品介绍

直接叶轮温度测量技术使操作范围增加

定制阶段和后端口位置选择的额外灵活性

nEXT85中的轴承和墨盒完全可以最终用户使用

CMSD启用低振动水平

具有微型USB端口和Edwards nST软件的智能泵，允许泵监控，控制和配置

全套定制配件

增强客户标准和压缩重点变化的选择

nEXT85涡轮分子泵基于EXT75DX的成功，以更小的封装提供具有显着改进性能的泵。转子已经完全重新设计，以优化泵性能，实现更高的速度和更高的压缩，同时保持高水平的可靠性。 除了增强的性能外，nEXT85还可以获得来自较大的nEXT系列的相同服务和操作功能，包括现场可维护性和内置智能，为产品提供了便利。

详细参数

泵速度

NW40：48 L/sec(cfm)

ISO63：84 L/sec(cfm)

4.50"CF(DN63CF)：84 L/sec (cfm)

压缩比

N2：> 1.0×10¹¹

Ar：1.0×10⁹

He：8.5 x 10⁶

H2：2.1×10⁵

入口法兰：DN63CF（4.50"外径）

前缘法兰：KF16

最大前缘压力：7.5Torr（10mbar）

方向：垂直直立到90％

冷却方式：环境空气（强制空气和水冷）

产品应用

• 2017-11-01MDC真空泵nEXT85D应用