Therma-Wave公司最近宣布,正式进入中国300mm半导体市场。Therma-Wave介绍说,中国一家主要的晶圆加工厂选中了Therma-Probe 300mm离子植入监测工具,用于装备其新设的300mm晶圆厂。

据介绍,该客户还再次订购了多套Opti-Probe薄摸测量系统,用于装备其设于上海的200mm晶圆厂。Therma-Wave表示,这笔薄摸订单表明,它现有的200mm晶圆厂的产能还要进一步扩大。

随着新晶圆厂在中国几个主要城市(如上海、北京、天津、苏州、成都及深圳)的建造,分析人士认为,中国芯片市场总额有望增加两倍,从2005年的290亿美元到2007年的800亿美元左右。国际半导体设备暨材料协会(SEMI)与日本半导体设备协会(SEAJ)的数据显示,2003中国新增半导体设备的市场总额已经达到11.6亿美元。