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AWM2000 系列微桥气体质量流量传感器是由两个惠斯通桥构成的被动装置。根据操作规范,还需具备发热器控制电路。根据操作规范,还需具备传感桥供电电路。这两种电路不在封装电路板上,因此必须在应用中提供。差分放大器是一个有用的传感桥接口。它可用于增加增益并将电压偏置引入传感器输出。
注意:产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量,液体流过传感器时会损坏传感器。
不遵守这些说明可能会导致产品受损。
产品 | 信号调节 | 补偿温度范围 | 流量/压力范围 | 介质兼容性 |
---|---|---|---|---|
AWM2100V | 非放大式 (mV) | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±200 sccm | 仅干燥气体 |
AWM2100VH | 非放大式 (mV) | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±200 sccm | 氢气 |
AWM2150V | 非放大式 (mV) | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±30.0 sccm | 仅干燥气体 |
AWM2200V | 非放大式 (mV) | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±10.0 mbar[4.0 H2O] | 仅干燥气体 |
AWM2300V | 非放大式 (mV) | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±1000 sccm (1 SLPM) | 仅干燥气体 |
AWM2300VH | 非放大式 (mV) | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±1000 sccm (1 SLPM) | 氢气 |