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加拿大LightMachinery准分子激光器 原理介绍

发布日期:2022-10-09 点击率:50

产品型号:IPEX-800 Series

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产品介绍:

 

IPEX 系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工和性能。IPEX 激光器采用LightMachinery的exciPure 技术,可提供超长的气体寿命、光学稳定性和对激光器工作参数的控制。操作准分子激光器的单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命)。凭借exciPure 技术,LightMachinery 的气体使用量比竞争激光器提高了10 倍。这一技术突破大大降低了运行激光器的成本。安装在光学端口上的 EasyClean自动阀允许密封激光室并保留气体填充/钝化,同时移除谐振器光学器件进行清洁和维护。IPEX-800 激光器易于使用、维修简单且操作经济,结合了高精度准分子加工的优势、当今市场上的总拥有成本和正常运行时间。上面显示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。

 

特征

exciPure 技术可实现令人难以置信的 10 倍气体寿命和运行成本

无需昂贵的低温气体净化器

EasyClean 自动光学密封件可保持气体填充并减少停机时间

光学维护

可选的高亮度光学元件,适用于需要低光束发散或延长相干长度的应用

高稳定性光学安装座可实现光束指向精度

简单集成到工业处理系统中

 

优势

延长气体寿命、长更换间隔、低运行成本

简化光学维护,保留气体填充和钝化

提供200微弧度的指向稳定性

清洁或更换光学元件后无需重新校准

内部、突发和外部触发模式下的快速、确的能量稳定

优异的能量稳定性,优于1.0% (KrF)

去除微粒并保持光学元件清洁度

 

应用

24/7 脉冲激光沉积

精密制造

材料加工

钻孔

剥线

科学研究

激光雷达

激光诱导击穿光谱

参数:

 

波长

193nm ArF

248nm KrF

308 XeCl

351 XeF

脉冲能量max. (mJ) IPEX-840

230

450

300

275

脉冲能量max. (mJ) IPEX-860

250

700

600

350

稳定脉冲能量 (mJ) IPEX-840

150

400

250

225

稳定脉冲能量 (mJ) IPEX-840

200

600

500

300

 

稳定平均功率 (W)

 

IPEX-848

30

80

50

45

IPEX-846

15

40

25

22

IPEX-844

6.0

20

12

11

IPEX-842

3.0

10

6.0

5.5

IPEX-868

20

60

50

30

IPEX-866

10

30

25

15

IPEX-864

5.0

18

10

9

IPEX-862

2.5

9.0

5.0

4.5






重复频率max. (Hz)

 

IPEX-848

200

200

200

200

IPEX-846

100

100

100

100

IPEX-844

40

50

50

50

IPEX-842

20

25

25

25

IPEX-868

100

100

100

100

IPEX-866

50

50

50

50

IPEX-864

25

30

20

30

IPEX-862

12

15

10

15

 

脉冲持续时间:12 至 20 ns FWHM

能量稳定性,1 Sigma:1% (KrF)

光束尺寸 (mm) (V x H):IPEX-740 系列 12 x 26

光束尺寸 (mm) (V x H):IPEX-760 系列 12 x 28

光束发散度 (mrad) (V x H):1 x 3 或者可以使用高亮度不稳定谐振器光学器件降低到 0.25mrad

电源要求:单相,200 - 240 V 50/60Hz; 8x6:2.5kW, 8x4:1.5kW。8x2:1kW

冷却要求:可选空气冷却至 25Hz 操作,水冷以更高的重复率

激光气体:预混或单个气瓶

重量:8x8 型号 400kg,8x6/8x4/8x2 型号:380kg

 


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