MEMS技术从功能上来划分可分为MEMS传感器、MEMS执行器、射频MEMS器件、生物MEMS、微光机电系统等。下面就MEMS传感器的技术应用做一个简单的介绍，MEMS传感器也称微型传感器，是微型集成化器件，是应用最广泛的MEMS器件。MEMS传感器一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上。这样传感器不仅能够感知被测参数，将其转换成方便度量的信号；而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断，因此形象地被称为智能传感器。

　　 按照被测量区分，MEMS传感器可分为下面七大类，压力传感器：绝对压力的传感器和计量压力的传感器。热学传感器：热量和温度传感器。力学传感器。力、压强、速度和加速度传感器。化学传感器：化学浓度、化学成分和反应率传感器。磁学传感器：磁场强度、磁通密度和磁化强度传感器。辐射传感器：电磁波强度传感器。电学传感器：电压、电流和电荷传感器。MEMS型压力传感器可分为压阻式、电容式和压电式。压阻式传感器利用压阻效应来测量压力大小。所谓压阻效应是指材料(特别是半导体材料)受到应力作用时，电阻率发生明显变化的现象。

　　MEMS加速度传感器的类型很多，按信号检测方式可以分为电容式、压阻式和隧道电流式，电容式加速度传感器由于具有体积小、工艺简单、一致性好、温度漂移小等诸多优点，从而在众多领域得到了广泛应用。MEMS加速度传感器可用于测量弹药韧射角和轨迹，进行智能化引信控制，缩小炸点散布，大幅度提高压制性兵器的武器效能；MEMS加速度传感器还可以用在弹道修正引信、侵彻自适应引信、常规弹道测试、导航定位系统中，进行弹道修正、提高射程，甚至制造出80—120 km射程的制导火箭弹。高量程的加速度传感器在军事领城当中具有非常重要的应用价值，最典型的用途是应用在侵彻硬目标的“钻地”和“穿甲”弹的引情系统。日常见到的陀螺是孩子们的玩具，高速自转的陀螺具有保持其对称方向基本不变的特性，常用做航空和航天飞行器中的定向装置，这也是惯性MEMS的用途之一。

　　 除了上面介绍的几种典型MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判断的MEMS触觉传感器(触觉包括接近觉、接触觉、压觉、力觉、滑觉等)、MEMS生物传感器、MEMS图像传感器、用于气象分析的微型气相色谱仪、可分析气体的种类和浓度的MEMS气敏传感器(电子鼻)、测量湿度的微型湿敏传感器、用于测量各种气体流量的微型气体流量传感器等。