发布日期:2022-10-07 点击率:27
随着科学技术的交叉发展、相互渗透,对传感器的质量、品种和数量提出了新的要求。因此,必须从新原理、新材料以及新加工技术等三方面寻找途径才能研究出新型传感器。
1.采用新原理
利用新的物理效应、化学效应,可研制出新一代传感器。例如利用约瑟夫逊效应开发的磁场传感器可以检测极微弱的磁场,使超高灵敏度的测量成为现实,可用于超低温中的磁导率测量、岩石中的剩余磁量拥量、生物体磁场的测量等方面。近20年发展起来的光纤传感器和表面波传感器,已取得了长足进展,对提髙测量系统的可靠性极为有效。
2.采用新材料
由于材料科学的巨大进步,新的功能材料的开发将导致新型传感器的出现。半导体材料研究的进步,促进了半导体传感器的迅速发展;压电半导体材料为压 电传感器集成化提供了方便;高分子压电薄膜的研制成功,将使机器人的触觉系统更接近人的触觉系统一皮肤。目前正在研究的精细陶瓷、非晶半导体、形状记忆合金等是很有希望的传感器材料,尤其是记忆合金,当它复原时会产生相当大的力,因而它有可能作为敏感元件和执行元件的集合体,在自动化系统中显示 独特的作用。在功能材料方面,把酶或活体组织的一部分作为敏感元件也是很有前途的,因而它对特定的化学物质具有高度的选择性,不仅可测量各种分子量和结构的化学物质,而且有可能测置食品的新鲜度。随着材料科学技术的发展, 适用于敏感元件的材料会大置增加,新型传感器将不断地出现。
3.采用新的加工技术
采用新的加工技术可以制造出新型传感器,如采用光刻、扩敢以及各向异性 腐蚀等方法,可以制造出微型化和集成化传感器,现在已经制造出能装在注射针上的压力传感器和成分传感器。采用半导体集成电路制造技术在同一个芯片上 同时制造几个传感器或传感器阵列,而且这些传感器输出信号的放大、运算等处理电路也集成在这个芯片上,从而可构成多功能传感器、分布式传感器。
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