超高真空指的是真空度小于10^-5Pa的真空。真空室一般由金属材料熔炼或铸造而成，里面溶入了空气中的氢、氧、氮和碳的氧化物，而且壳体表面还会吸附水蒸气等大量气体。这些因素都会导致真空环境下的气体虚漏。

    超高真空材料，应满足下列要求：

    1 在烘烤温度下，材料能保持机械性能，壳体材料能承受外部大气压力

    2 材料在烘烤温度下蒸汽压要低

    3 材料的渗透气体量不能超过允许值

    4 材料加热时不易变形

    5 材料表面容易抛光

    适于超高真空的通用材料有：

    不锈钢，常用于壳体、管道、法兰以及各种真空元件。

    玻璃，用于封接真空电极引入线、制作规管管壳或观察窗等。

    陶瓷，用于真空电极的绝缘子。

    可伐，用于制作与玻璃或陶瓷封接件。

    金银铜铝，用于制作密封圈。

    氟橡胶，用于制作密封圈。

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