氦检，全称为氦质谱检漏，其核心是用质谱分析法测定氦的分压，检漏时用氦气作为探索气体，当氦气通过漏孔进入检漏仪中后，使仪器内氦的分压明显增加，从而指示了漏孔的存在，氦检由于检漏灵敏度高、反应快、适应性强，在真空产品的检漏中得到了广泛的应用。

    应用氦质谱检漏仪进行检漏时，由于被检件的结构、大小及气密性要求不一样，所以被检件与检漏仪之间的连接方式、对被检件的施氦方法也不同，这样就产生了各种具体的检漏方法。

    1 喷吹法，将被检件通过管道与氦质谱检漏仪相连，被检件内部抽成真空。检漏时，用与氦气源相通的喷枪在被检件外壁可疑漏气部位喷吹氦气，如果该处有漏，氦气便通过漏孔进入检漏仪中而被检测出来。

    2 氦罩法和氦室法，将被检件某一部分用罩子盖住或将整个被检件放在一氦室中，往罩内或氦室中充入氦气，这就相当于用无数把喷枪在无数个可疑点同时喷吹氦气。这不仅加快了检漏速度，同时由于提高了漏孔处的氦浓度，施氦时间可随意延长，因而检漏灵敏度有较大提高。不过氦罩法和氦室法只能测出所罩部分的总漏率值，而不能确定漏孔的位置。

    3 真空室法，将被检件放在真空室中，真空室与检漏仪相连，被检件与氦气源相连。检漏时真空室内抽至一定真空度后，被检件内充入一定压力的氦气或氦、空气混合气，如果被检件器壁上有漏孔，氦气便通过漏孔进入真空室，随机进入检漏仪中，并由仪器的输出仪表指示出漏率值。这个方法适合对小容器进行漏率测试。

    4 吸氦法，被检容器内充入一定压力的氦气后，用经软管与检漏仪相连的特殊结构吸嘴在容器外壁逐点吻吸。当容器上存在漏孔时，氦气便通过漏孔向外逸出，当吸嘴正对漏孔位置时，氦气随周围的空气一起被吸嘴吸入并送到检漏仪中，由检漏仪的输出仪表指示出来。吸氦法已广泛应用于加压检漏中。质谱室靠吸嘴的限流作用与大气隔离的，因此吸嘴的流导很小，加上通过漏孔漏出的氦气迅速向周围空间扩散，因此吸嘴吸入的只是漏孔漏出氦气中的一部分，所以检漏灵敏度较低。另外由于连接管比较长，管中流动状态一般呈分子流或过渡流，所以反应时间比较长。

    5 检漏盒法，将特制的能与被检表面很好吻合的检漏盒扣在被检件器壁的一侧，检漏盒与器壁之间用橡胶密封圈或真空泥密封。检漏盒通过软管与检漏仪及辅助泵相连。检漏时，先用辅助泵将检漏盒抽空，然后关闭辅助泵阀，打开节流阀使检漏仪与检漏盒相通。在与检漏盒所扣部位有漏，氦气便通过漏孔进入检漏盒及检漏仪中，由检漏仪的输出仪表指示出漏率值来。这个方法特别适用于不能抽气和加压的被检件，在大容器加工过程中对拼板焊缝的检漏中常采用它。检漏盒与被检器壁间往往不能很好吻合，为了改善密封状况，可采用双层密封的检漏盒结构。由于两密封圈之间的环形空间被抽空，对里面的密封圈来说，其漏率便可大大降低。

    6 逆流法，一般进行氦质谱检漏时，被检件接在仪器的高真空一侧，质谱室通过节流阀与被检件相连。为了保证质谱室的正常工作压力，不但要求检漏仪主泵有一定抽速，而且对被检件的漏率和放气率也有一定的限制。对于那些漏气率大的被检件，常常因节流阀打不开而无法检漏。逆流检漏法是将被检件接在检漏仪的低真空侧，扩散泵和涡轮分子泵对不同气体分子具有不同的压缩比，且压缩比随被抽气体分子量的减小而减小，像氦这种分子量较小的气体，容易由主泵前级逆流到质谱室中去。

    7 累积法，常规真空法检漏时，由漏孔漏入检漏系统的氦，一部分被泵抽走，一部分在检漏系统各个截面上建立起氦分压，达到动态平衡。为了提高质谱室中的氦分压，可以用一阀门将检漏仪与被检容器隔离，漏孔漏入的氦气先贮存在被检容器与阀门之间的体积中，累计体积中的氦分压随时间增加而直线上升。累积一段时间后，打开累积阀，累积起来的氦便迅速被抽入检漏仪中，使质谱室的氦分压急剧上升，从而得到较大的输出指示，这就是累积法。

    8 背压法，对既无法抽空又无法充气的一些封闭容器的无损检漏，一般采用背压法。背压法的操作有三个步骤：a加氦，将被检件置于高压的氦气气氛中浸泡数小时或数天，如果被检件上存在漏孔，氦气便通过漏孔进入被检件里，使被检件里的氦分压上升；b净化，从加压罩内取出被检件，用氮气或空气将被检件表面残留的氦气吹净，在这个过程中，会有部分氦气从被检件里通过漏孔流失；c检漏，把被检件放入真空容器中进行检漏。当被检件的漏孔过大时，用背压法检漏时可能出现误判，因为在净化等待时间内，被检件内的氦气可能耗完，因此，背压法检漏后认为不漏的被检件还应该用其他粗检方法复检。

    （慧朴科技，huiputech）