真空法兰连接属于非永久密封连接，其特点是经过多次拆装仍能保持密封性能，而且可以更换已经老化或损坏的密封器件。真空系统中常用的法兰有橡胶圈密封法兰和金属垫圈密封法兰。

    1 KF（NW）法兰

    小口径管路用橡胶圈密封真空法兰，被称为KF（或NW）法兰，广泛用于低、中和高真空系统中。其特点是可多次重复使用、操作简单、经济实惠。但是KF法兰有两个大的问题点：一个是在设备烘烤时耐热程度有限，另一个是氢气、氦气的透气问题。

    使用KF法兰时，两个KF法兰中间安装有外套O型橡胶圈的中心支架，外侧通过卡箍可简单实现快速的安装和拆卸。使用氟橡胶圈的时候，烘烤温度一般可达150℃。

    2 ISO法兰是口径范围大的O型橡胶圈密封真空法兰。

    3 CF法兰的内侧有凸起的锋利刀口，通过挤压无氧铜垫圈（或其他软金属）使其变形而达到密封真空的目的，是全金属材料的密封方式，被广泛应用于超高真空环境中。CF法兰也常用ICF法兰来表示，CF后面的数字是标准的导管内径，而ICF后面的数字是法兰的外径。

    CF法兰分为固定型和松套型两种。固定型法兰为一体化结构。松套型法兰由挤压铜垫圈的刀口部分和通过螺栓的固定部分构成。法兰上可开通孔或螺纹孔。开有通孔的法兰要通过螺栓和螺母固定，开有螺纹孔的法兰可直接使用螺栓固定。法兰的材质主要为SUS304或SUS304L，因为SUS304放出气体少，加工和焊接比较容易。

    CF法兰的特点是不分雌雄，包括无氧铜垫圈在内全部由金属构成，因此可以承受高温（250℃以上）烘烤。其缺点是价格高，无氧铜垫圈不能多次重复使用。

    CF法兰的安装要求较高。因为无氧铜垫圈被挤压后会变形，所以用均等力量扭紧螺栓非常重要。如果螺栓用力不均匀，会使对角位置的法兰翘起，以至于漏气。扭紧螺栓的力矩大约如下：M4螺栓20kgf*cm，M6螺栓70kgf*cm，M8螺栓100kgf*cm。

    CF法兰使用时有几个注意点：螺栓一定要涂抹MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死，法兰外周要对齐，法兰面要保持一点距离，为烘烤后继续上紧螺栓留出空间。

    CF法兰中，刀口要切入金属密封圈来实现真空密封。长期使用，刀口会逐渐变钝。另外，受硬器碰撞后刀口容易受伤。这时的补救措施之一，是使用IPD金属密封圈。IPD金属密封圈不依靠法兰的刀口，而依靠刀口外周的斜面来密封。

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