玻璃材料内部气体的来源主要有以下部分：玻璃表面吸附的气体（主要是水蒸气和二氧化碳)；玻璃在长期存放中所吸附的水分，在玻璃内碱性硅酸盐水解的基础上进行复杂的化学反应，当玻壳被抽真空或加热去气时，这些化学反应的产物是气体来源之一；

    玻璃在熔制过程中，熔融的玻璃与周围的气体相互作用而溶解、残留在玻璃内部的气体(主要是一氧化碳、氮气和氧气)。因此，未经去气的玻璃在真空下工作时，特别是在升温时要放出大量气体。

    温度上升，首先放出的是吸附在玻璃表面的水蒸气和二氧化碳，出气量随温度升高而增加，出气量达最大值；随后，因玻璃表面水蒸气和二氧化碳吸附层的减少使出气量下降，当升温高于450℃时，玻璃表面吸附的气体基本放出，出气量降至最小。

    如果继续升高温度，则溶解在玻璃内部的气体不断放出，以及玻璃在高温下会分解产生气体，使出气量又继续上升。

    因此，用作电真空器件中的玻璃零件必须预先或在器件生成过程中进行去气。对于封闭的电真空器件，长期工作时还必须考虑玻璃渗氦对器件的影响。

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