发布日期：2022-11-05 点击率：39
1）抽气情况不良。即抽气系统本身存在问题。比如：扩散泵工作不正常，这可能是由于泵油过多或过少，泵加热功率不合适，泵油氧化或太脏，泵冷却效果不良，机械泵油太脏或含水量高，内部零件磨损或划伤，反扩散增大等原因造成。
2）放气。真空系统或容器内部存在气体或蒸气源。主要是真空清洁处理（清洗、干燥）不良，材料选择不当或设计有死空间等原因引起。
3）漏气。主要由于焊接加工或安装不良，低温下密封圈失去弹性或压缩量不足，不清洁等原因造成。
（慧朴科技，huiputech）
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