发布日期:2022-11-05 点击率:33
被检容器和检漏仪器的敏感元件处于真空状态,示漏物质施加在被检容器的外部,如有漏孔存在,示漏物质便通过漏孔被吸入容器和仪器敏感元件空间,由敏感元件检测出示漏物质的存在,从而可判定漏孔的位置和大小。
检漏方法 | 工作压力Pa | 现象 | 设备 | 最小可检漏率Pa*L/s |
静态升压法 | 静态压力上升 | 真空计 | 10-2~10-3 | |
放电管法 | 放电颜色改变 | 放电管 | 1~10-1 | |
高频火花检漏器法 | 103~5x10-1 | 亮点,放电颜色改变 | 高频火花检漏仪 | 1~10-1 |
热传导真空规法 | 103~5x10-1 | 真空计读数变化 | 热偶或电阻真空计 | 10-3 |
电离真空规法 | 10-2~10-6 | 电离真空计 | 10-6 | |
差动热传导真空规法 | 103~10-1 | 热传导真空计差动组合 | 10-4 | |
差动电离真空规法 | 10-2~10-6 | 电离真空计差动组合 | 10-7 | |
具有吸附阱的热传导真空规法 | 热传导规液氮活性炭阱 | 10-4 | ||
具有吸附阱的电离真空规法 | 冷阴极电离规,液氮硅胶阱 | 10-7~10-10 | ||
氢钯法 | 50~10-5 | 氢通过钯管使真空计读数变化 | 钯管、电离真空计 | 10-4~10-8 |
卤素检漏仪内探头法 | 10~10-1 | 仪表读数变化 | 卤素检漏仪 | 10-4~10-6 |
离子泵检漏法 | 10-4~10-7 | 离子流变化 | 离子泵本身 | 10-6~10-9 |
氦质谱检漏仪法 | 10-2 | 输出表及音响频率变化 | 氦质谱检漏仪 | 10-7~10-9 |
四极质谱计分析法 | 10-2 | 输出表及音响频率变化 | 四极质谱计 | 10-9 |
(慧朴科技,huiputech)
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