真空波纹管是真空管道系统中很常见的一类真空配件。用在超高真空系统中的波纹管，必须有可靠的密封性能和使用寿命，能实现弯曲、伸缩和偏心弯折。

    波纹管通常分为成型波纹管和焊接波纹管两种，用在超高真空系统中的波纹管材质，一般选用SUS316型号不锈钢。

    制作口径稍大的成型波纹管时，首先将不锈钢板材卷成筒状，接口处焊接。将圆筒插入波纹管模具中，通过液压完成成型波纹管的制作。

    在超高真空系统中，连接分子泵和机械泵的波纹管，多采用两端为NW法兰的成型波纹管。成型波纹管的优点是制作简单、成本低。缺点是伸缩和柔韧性不足。焊接波纹管可以弥补成型波纹管的不足。

    焊接波纹管是将圆环状的不锈钢薄片，内径和外径交替焊接而成的薄壁褶皱软管。焊接方式为等离子焊，这种波纹管有极大的伸缩性，是超高真空系统的连接和各种运动导入器中不可缺少的部件。合理选择波纹管的自然长度，使用寿命可达数十万次以上。

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