橡胶密封圈的主要缺点是不耐烘烤且在室温下放气量大，所以许多要求高温烘烤(>200℃)和只准使用低蒸气压(室温时蒸气压<10^-10Pa)材料的超高真空系统装置，不能使用橡胶密封，而需用金属密封圈密封。

    金属密封圈有两个突出的优点：①放气远比橡胶少；②用它密封的系统和装置可以在高温下烘烤去气，因此能满足超高真空的要求。

    金属密封也有很多缺点：

    ①金属密封圈弹性差，需要很大的密封力才能保障可靠的真空密封；

    ②重复使用性很差，有些金属密封圈只能使用一次；

    ③法兰密封面和刀口的粗糙度和配合精度要求高，很小的伤痕都能破坏密封，特别是大尺寸法兰加工很困难；

    ④密封圈和法兰材料的热膨胀系数相差较大，加热不均匀或密封结构设计得不正确，会引起局部变形而造成漏气。

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