①超高真空油扩散泵不能在大气压下工作，需要用粗抽泵将真空容器的大气抽至启动压力以下。油扩散泵配置的前级泵，在较低的前级压力下其排气量应大于扩散泵的最大排气量，用以减少反扩散的概率。

    ②运转油扩散泵一定要避免处于高温下的泵油与大气接否则会发生泵油的裂解、氧化，污染整个真空系统的重大事故。

    ③在整个运转期间，必须注意泵的加热功率和冷却水温，一旦发现出水口水温过高，应立即重新调节冷却水流量。若遇停水，则应立即切断加热电源，并将加热电炉移开后用风扇冷却泵体。关闭加热电源停止运转扩散泵后，一般需要继续用前级泵抽气，直到泵油锅冷却到安全温度，才能停止抽气和关闭冷却水。

    ④带液氮冷阱的扩散泵超高真空系统烘烤后，应当在冷阱完全冷到室温后加注液氮。加注前，要把液氮胆内的所有水和蒸气用热风吹干，避免水冻结在冷阱内。加注液氮时，最好先将少量液氮加入阱的底部，等到系统的可凝物(水有机溶剂、二氧化碳等)捕集在阱的下部真空度达到高真空后，再逐步加满液氮。

    ⑤工艺周期要求长时间运转的扩散泵系统，最好配备自动控制装置，自动控制的主要内容有：

    a.粗抽泵抽气达到给定的压力时，能自动启动扩散泵；

    b.系统内压力突然升高到最大允许值时，自动关闭高真空阀，切断扩散泵加热电源并报警；

    c.冷却水温过高或中断时，自动切断加热电源并报警；

    d.控制两只并联的前级泵自动转换成间断工作，确保前级泵不过热。

    ⑥需要打开容器换取工件时，最好通入干燥热氮气，再次抽气时可降低容器内材料的出气速率。

(慧朴科技，huiputech)