位于泵进气口处未能烘烤的部位是影响获得超高真空的重要因素，系统不能烘烤的部位面积与采用的真空泵类型有关，离子泵(卸掉磁铁)和分子筛泵可以整体烘烤，涡轮分子泵和制冷机低温泵能够局部烘烤100℃，扩散泵则完全不能烘烤。

    烘烤曲线表明开始加热后系统压力随加热温度上升急剧增加，到达最高烘烤温度时压力也升到最大值，在随后维持烘烤温度不变的期间，压力随抽气时间缓慢下降，停止加热后压力则迅速下降，其拐点处出现在室温下，此后是常温下系统压力随抽气时间下降的曲线。

    超高真空系统进行烘烤除气时，烘烤温度的均匀性比烘烤温度高低更为重要，复杂的金属系统要做到各部分的烘烤温度均匀并不是一件很容易的事。各部分材质的质量大小不同，各种材料的热容、热导率的方向性的差异以及距加热体的远近等，都会影响加热的均匀度。

    所以，要获得较均匀的烘烤温度，采用烘烤炉将真空容器整个罩住，比采用缠绕加热丝的方法好，特别是大质量的金属法兰，难以靠热传导同步加热，只有靠热辐射缓慢升温，而辐射热是加热体温度4次方函数关系，所以尽量采用较高的加热温度和充分长的加热时间是十分必要的。

    尽管如此，要达到系统均匀升温，对大型超高真空系统的厚法兰还应当采用辅助加热片进行加热，辅助加热片的功率可根据材料的热容量进行计算，要获得最佳效果，应通过实验确定。

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