由于各种污染可以使电真空器件变质，影响使用寿命和可靠性，因而电真空工艺具有特殊性。一般而言，电真空器件所用的金属材料或零件在经过机械加工后都要进行去油。利用碱性溶液和有机溶剂都可以去除金属表面的油脂和其它脏物。在去油之后，如果金属表面还留有氧化物，则一般还要用酸洗来浸蚀金属。酸洗以后，要用氨水中和，或在沸水中煮否则金属容易重新生锈。最好的清洗方法是，零件经过化学处理后，再进行烧氢处理，除去残留在表面上的杂质或氧化物，驱走大部分金属吸附的气体。最后一次冲洗用蒸馏水或去离子水。因为水不干净，杂质还会污染材料。最后需注意的是，装入真空系统或器件的材料，最好是刚刚经过清洁处理的。如果要贮存一段时间，则必须用无纤维的清洁纸或铝箔包扎，然后放入干燥器或真空贮存柜内，以免材料表面重新污脏或氧化。

    为了保证清洁工作的成功，除了盛装器件的容器要非常干净外，持取和揩擦的工具也是值得注意的。赤裸的手是非常可怕的，它会带来有机油脂和其它脏物，而使任何严格去污的结果归于失败。因此在一般情况下要用不锈钢的小镊子(可以避免在空气中生锈，也抵抗了酸碱的浸蚀)钳取物品。用以拭揩器件外部的材料一般用脱脂棉，但在拭描内部或表面比较粗糙的物体时，则用干净的白绸，以避免残留纤维。丝织手套或棉纱手套会很快吸足汗液而渗透出汗液来，橡皮手套含有硫而且套卸不便，白色的塑胶手套比较好，但在使用氰化物溶液时则必须带橡皮手套。即使在一般场合下口罩也是很必要的，口罩带用橡筋带比纱带更合适。

    经过清洁处理的干燥材料，要用不易掉落纤维的半透明纸或铝箔包扎然后放人真空柜或干燥器内保存。

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