发布日期：2022-11-05 点击率：48
真空计原理 | 名称 | 量程Pa | 精度 | 反应时间 | 备注 | ||
力 | 重力 | 液体真空计 | 汞柱压力计 | 105~102 | 10% | 几秒 | ① |
基准汞柱压力计 | 104~10(10-1) | ||||||
油柱压力计 | 103~10 | 1% | 几秒至几分 | ||||
基准油柱压力计 | 102~10-2(10-3) | ||||||
压缩式真空计 | 103~10-1(10-6) | ＜3% | 几分 | ①④ | |||
机械力 | 变形计 | 弹簧管真空计 | 105~103 | 10% | 几秒 | ① | |
膜盒真空计 | 105~102 | ＜10% | 几秒 | ||||
薄膜电容真空计 | 103~10-2 | ＜1% | ＜1s | ② | |||
薄膜应变真空计 | 105~102 | ① | |||||
阻尼力 | 黏滞计 | 振幅衰减真空计 | 1~10-3 | 10%-100% | 几秒 | - | |
磁悬转子真空计 | 1~10-4 | - | - | - | |||
振膜真空计 | 104~10-1 | ≤±2% | ＜1s | - | |||
分子力 | 热辐射真空计 | 1~10-5 | ＜10% | 几秒至几十秒 | ② | ||
气体分子热传导（热传导真空计） | 电阻真空计 | 102~10-1(10-2) | 10%~100% | 定温型约1s | ③ | ||
热偶真空计 | 102~10-1 | 几秒 | |||||
半导体真空计 | 102~10-3 | 几秒 | |||||
热电堆真空计 | 102~10-1 | - | |||||
气体对流 | 对流真空计 | 105~102 | - | - | |||
气体电离 | 荷能粒子 | 热阴极计 | 电离真空计 | 10-1~10-5 | 10%~20% | 10-3s | ③ |
中真空电离真空计 | 102~10-4 | ||||||
B-A电离真空规 | 10-1~10-8 | ||||||
热阴极磁控计 | 10-5~10-11(10-13) | ||||||
放射源（α）电离真空计 | 104(105)~10-1 | 10% | 0.1s | ||||
自持放电 | 冷阴极计 | 潘宁计 | 1~10-4 | 20%~50% | 0.1s | ||
反磁控真空计 | 10-2~10-9(10-11) 10~10-3 | ||||||
正磁控真空计 | 10-2~10-8 102~10-3 | ||||||
放电管真空计 | 102~10-1 | - | ＜1s | ||||
备注一栏中①绝对真空计，灵敏度与气体种类无关；②近似绝对真空计，灵敏度与气体种类关系很小；③相对真空计，灵敏度与气体种类有关，需进行校准；④非理想气体的压力测量受到限制。
（慧朴科技，huiputech）
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