发布日期:2022-11-05 点击率:45
运动传导结构是用来向真空室中传递各种运动,以实现真空室中机构的运动,满足所进行的工艺过程的需要。要求这种运动传导结构既能向真空室中传递运动,又要保证真空密封。
运动传导结构传递的运动形式一般有以下几种:(1)传动轴的转动;(2)传动轴的往复直线运动;(3)传动轴的摆动。
运动传导结构按照动密封方式分类有:(1)真空橡胶密封可动传导;(2)金属波纹管密封可动传导;(3)液态金属密封可动传导;(4)间隙密封传导;(5)磁力传动传导;(6)磁流体密封可动传导;(7)橡胶隔膜密封可动传导。
在选择运动传导密封形式时,应注意下列事项:
(1)从传动密封处漏入真空室中的气体量对工作压力的影响。此气体量值包括密封处漏气量、元件表面放气、高温下薄壁零件(波纹管)的渗漏;
(2)在真空室工作温度范围内,传动轴即密封元件能否正常工作;
(3)传递运动形式(直线、旋转、摆动)及传动精度;
(4)真空中从动部件的最大速度、位移以及密封轴的转速;
(5)使用方便、易更换易损零件,工艺性好,成本低。
(慧朴科技,huiputech)
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