发布日期：2022-11-05 点击率：62
零部件名称 | 低真空及高真空 | 超高真空 |
壳体、管路、阀、内部零件 | 普通碳素钢、不锈钢 | 不锈钢、钛、高纯铝 |
密封垫圈 | 丁基橡胶、氟塑料 | 氟橡胶、氟塑料、铜、金、银、铟 |
导电体 | 铜、不锈钢、铝 | 铜、不锈钢 |
绝缘体 | 酚醛、氟塑料、玻璃、陶瓷 | 玻璃、致密高铝瓷等 |
视窗 | 玻璃 | 硼硅玻璃、透明石英玻璃 |
润滑剂 | 低蒸气压的油及脂 | 二硫化钼、镀银或金 |
加热元件 | 镍铬铁合金、钨、钼、钽、碳布 | 钨、铬、钨铼合金、石墨碳纤维 |
(慧朴科技，huiputech)
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