真空冶炼设备按照所熔炼的金属材料种类可分为有色金属真空冶炼设备和黑色金属真空冶炼设备。真空蒸馏只能用于有色金属熔炼，真空电子束熔炼既可以用作有色金属熔炼，也可以用于黑色金属熔炼。

    根据加热热源的不同，真空冶炼设备可以分为以下几种。

    (1)电阻加热

    在真空条件下，加热器通电产生的电阻热使金属材料熔化，或电阻元件产生的电阻热通过辐射将金属材料加热。真空电渣炉即为前者，而真空热处理炉则为后者。

    (2)感应加热

    在真空条件下，将金属材料放入感应线圈中，当给线圈通入交变电流时，就会产生交变磁场，在金属材料表面上产生感应电流，感应电流的流动产生电阻热而将金属材料熔化。利用这种方法加热的真空冶炼设备称为真空感应炉。

    (3)电弧加热

    在真空条件下，利用弧光放电所产生的电弧热熔炼金属材料。通常将被熔炼的金属材料(自耗电极)接负极，水冷铜坩埚接正极，通电时两极间产生弧光放电，正离子打在阴板上，电子打在阳板上，于是电能转变成热能，产生高温，将金属材料熔化。利用这种方法加热的真空冶炼设备称为真空电弧炉，因为阴板为被熔炼的金属材料，故又称为真空自耗炉。

    (4)电子束加热

    在真空条件下，应用电子枪在高压电场的作用下，发射出高速度电子束，电子束聚焦能量打在被熔炼的金属材料上，将电能转换成热能，使金属材料熔化。这种通过电子来加热的真空冶金设备称为真空电子束炉，也有人称其为电子轰击炉。

    (5)无热源加热

    由平炉、转炉、电弧炉熔炼的钢液，因在生产过程中吸入了氧、氮、氢等气体，在钢材内部和表面会形成各种缺陷，为减少这些缺陷，通常采用真空二次精炼，通过低压处理，除掉钢液中的气体。在此过程中并无热源加热，也能实现真空冶炼。因此，也有人称其为钢液真空处理。

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