发布日期:2022-11-05 点击率:45
为了给真空室中工作的机构供电,需采用真空电传导结构,电传导电极引入导线与导线之间、导线与真空室壁之间应该满足的电绝缘、真空密封和承受一定的电流负荷要求。
电极及电极密封材料的选取取决于工作电压、电流、频率温度等;电传导结构形式的选择取决于设备的工作压力范围。根据电传导结构的用途不同可分为:低压小电流引入结构、低压大电流引入结构和高压引入结构等。
在设计和确定电传导结构时应该注意以下问题:
(1)引入线截面积应根据通过电流及所选材料来确定。不同材料允许通过的最大电流不同。所选择的引入线截面积应大于理论计算值。
(2)根据引入线的工作电压不同,选择不同的绝缘材料,并计算出绝缘厚度。
某些绝缘材料的击穿电压阈值
击穿电压50Hz | 石英玻璃 | 铝玻璃 | 硼硅玻璃 | 钠钙玻璃 | 陶瓷 | 有机玻璃 | 硅橡胶 | 氟橡胶 | 聚四氟乙烯 | 聚氯乙烯 |
kV/mm | 25~40 | 5~20 | 20~35 | 5~20 | 13.5 | 20 | 12~20 | 15 | 40 | 25~50 |
(3)橡胶密封的大电流电极引入线如果通过的电流很大,则产生的焦耳热会使密封材料失效。此时,引入线应该采用水冷结构;
(4)高真空系统的引入线应能承受450℃的烘烤;
(5)应该避免各种金属蒸镀或溅射到引入线的绝缘材料上,以避免造成漏电短路、放电等问题。
将电流输入到真空容器中去进行供电,在各种真空设备上是经常遇到的,对于金属真空设备来说,这种引线装置最好采用可拆卸的连接密封,这样便于维修。
(慧朴科技,huiputech)
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