在所有的高真空系统中，特别是超高真空系统的应用中，将气体从构成真空系统的材料中放出并排除掉是非常重要的。在超高真空条件下，器壁表面实际上并未与环境气氛处于平衡状态，而是覆盖着一层可凝性气体，其含量远远超过平衡状态下的含量，所以在超高真空区域，器壁的放气率只取决于抽气时间和表面的经历，而与系统的总压力无关。

    一般情况下，不锈钢超高真空系统的极限烘烤温度为450℃左右，但是某些试验研究表明：在系统的除气过程中，烘烤温度不需要特别严格规定，而系统各处温度的均匀性要比烘烤温度重要得多。最好的方法是尽可能均匀地烘烤整个系统，而烘烤温度在150~250℃比较合适。

    如果在系统内部的某种材料不能承受150℃的温度或者某些重要部件的热膨胀可能引起麻烦时，就应选择较低的烘烤温度，但一定要对系统所有的部件都要尽可能地均匀烘烤，而且烘烤所持续的时间应加长。

    如果系统表面上附有高结合能的物质，则需要较高的烘烤温度才能有比较理想的放气率。当无法对系统整体进行均匀烘烤，例如，当真空室内装有热容量大的法兰或有绝热的装置时，对它们进行均匀烘烤十分困难，则需要选择较高的烘烤温度。

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