烘烤装置常用电阻丝及红外管加热器作为加热元件。红外管加热器使用安全可靠、寿命长，但被烘烤真空系统的形状受到一定限制。电阻丝使用方便、价格低廉，而且被烘烤设备的形状不受限制。

    烘烤除气装置根据被烘烤对象的型式可大致分成下面几种类型。

    ①整体真空烘箱

    整体式真空烘箱适用于玻璃真空系统、小型部件及电子器件的烘烤除气。

    常用的真空烘箱有两种结构：加热器放在真空罩中的内热式烘箱和放在真空罩外部的外热式烘箱，内热式烘箱的加热器不能使用普通电炉丝，因为它们在真空中容易蒸发。所以常用W或Mo丝作加热器。外热式烘箱利用不锈钢钟罩将加热器与被加热部件隔开，部件依靠钟罩加热后产生的辐射热加温。其优点是加热温度均匀，避免了加热器直接面对部件带来的蒸发物污染问题。

    此外,由于加热器可以从钟罩上取走，因此被加热部件冷却快，使用方便。

    真空烘箱结构示意图

    真空烘箱的真空度一般应高于10^-2Pa。真空度过低会影响除气效果，还容易产生放电甚至电弧现象，另外发热材料容易氧化并蒸发污染被加热部件。真空烘箱的一个附带用途是通过改变烘箱内的气压对被加热器件进行高灵敏度的快速检漏。

    ②分离式烘箱

    即将整体烘箱分成几块电热板，使用时通过连接件组合起来。这种烘箱对被烘烤对象的形状适应性强,适用于形状复杂的真空设备的烘烤。

    ③用电阻丝和玻璃纤维布做成“烘烤带”，包在被烘烤设备的外部对设备进行加热除气。这种型式适用于形状复杂真空系统及设备的临时性烘烤或局部烘烤。

    ④在真空设备外部敷上红外管加热器对设备进行加热。适用于大型、中型真空设备的烘烤。

（慧朴科技，huiputech）