内热式真空炉电热元件的电压如果选择太高，会导致炉内的真空放电或辉光放电，致使电热元件受到损坏。如果电压选择太低，就会增大电热元件的电流，致使电热元件的连接困难而结构复杂、并且增加了电损耗。

    有资料指出，在真空下，特别是在133~1.3Pa范围内，会产生真空放电。在13.3~0.13Pa真空度下，辉光放电电压(交流〉为250V左右。因此，一般真空热处理炉电热元件的电压可以选择在200V以下。下表列出了真空热处理炉端电压的推荐值。

    在高真空的热处理炉中，击穿电压要比最低值高得多。采用表中的推荐值是为了防止炉内可能在工作时因材料放气，而使压力短暂升高、产生真空放电，致使电热元件损坏。

    同时，考虑到真空中电热元件挥发、炉中残存气体及漏气，致使真空炉电热元件与炉内气氛的相互作用等因素，资料给出通常真空炉一般电热元件的端电压一般不超过100V。