大型真空系统及工厂生产用的真空设备多用金属材料制成。金属材料的最大优点是机械强度高，不易破坏。金属的饱和蒸气压较低，因而主要应该考虑的问题是其气密性及放气速率。

    为了满足气密性及放气性的要求，必须保证：

    (1)金属材料没有气孔和裂纹。因为气孔和裂纹的存在不仅会造成漏气，使其无法满足气密性的要求，而且由于气孔及裂纹中存有杂质，会大量放气。

    (2)金属材料的内表面必须足够光滑，以减少吸附气体的表面积及便于清洗。

    (3)必须对金属的内表面进行严格的清洁处理，以清除附着在金属表面上的杂质，这些杂质容易在真空中放气。

    常用来制造真空容器的金属材料有碳钢、不锈钢、合金钢不锈复合钢板、铜铝及金等。铸铁由于其多孔，而只能用于真空度较低的系统中。