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陶瓷电容压力传感器

电容式压力传感器的简介、工作原理和分类

发布日期:2022-10-11 点击率:305

    电容式压力传感器,是一种可以利用电容敏感的原件把被测量的压力转换成为跟它有一定的关系的电信号输出的精密测量仪器。它通常是使用镀金属薄膜或者是圆形金属薄膜来做电容器的其中一个电极。在薄膜感受到压力的时候,它会变形的,此时薄膜跟固定的电极间所产生的电容量就会发生改变。测量电路就可以输出跟电压形成一定的关系的电信号。它的应用非常广泛,之所以应用这么广泛,是因为它的优点有很多:它的分辨率很高;它可以进行动态的检测;它的结构很简单,并不复杂;它可以在很恶劣的工作环境下正常工作,解决人不可以测量的很多问题;它可以是非接触测量的,很方便。
    电容式压力传感器是极距变化型的电容式传感器,有差动电容式和单电容式之分。下面详细介绍一下这两种类型的传感器。
差动电容式压力传感器
    其受压膜片电极是处于两个固定的电极之间的,可以形成两个电容器。当受到压力的作用的时候,其中一个电容器的容量就会变大,而另一个电容器的容量就会相应地变小,而测量的结果是由差动式的电路输出的。此传感器的固定的电极是由在凹而曲的玻璃的表层上面镀上金属层而制造出来的。当过载的时候,膜片就会受到凹面的保护,所以,它是不会破裂的。相对于单电容式压力传感器来说,它的线性度较好,灵敏度也较高,但是在加工方面就比较困难了,还有它不可以完成对被测的液体或者是气体的隔离,所以,它不适合使用在有杂质的或者是有腐蚀性的流体之中。
单电容式压力传感器
  它是由固定的电极和圆形的薄膜组成的。当受到压力作用的时候,薄膜就会发生变形,这样就会改变电容器的容量。它的灵敏度大概是跟薄膜与固定的电极之间的距离和薄膜的张力成反比关系的;而跟压力和薄膜的面积成正比关系的。有另外的一种型式,它是跟固定电极取凹形球面状的,而膜片是周围边缘的固定的张紧的平面,膜片能够使用塑料接着镀上金属层的这个方法制造而成的。这一种型式比较适合于测量低压这个工作条件的,它有比较高的过载能力。当然,要测量高压工作条件的话,可使用带有活塞动极膜片制造而成的单电容式压力传感器。这一种型式的传感器能够把膜片的直接的受压面积变小,这样就方便使用比较薄的膜片以致来提高它的灵敏度。它还有一个操作是用来提高抗干扰能力的,就是跟各种的保护和补偿部还有放大电路的整体整合在一起。这一种传感器就适用于对飞行物体进行遥测和在动态高压的工作条件下测量。单电容式压力传感器还可以分为听诊器式和传声器式。

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