传感器在使用过程中出现故障是在所难免的，电容式压力传感器测量部分敏感部件采用全焊接结构，电子线路部分采用波峰焊接和接插件安装方式，整体结构坚固、耐用，故障甚少。但是无法避免的还是会出现一些故障。
　　传感器测量部分产生的故障都会引起传感器无输出或输出不正常，因此应首先检查传感器的测量敏感部件。拆下法兰，检查敏感部件隔离膜片有无变形，破损和漏油现象发生。拆下补偿板，不取出敏感部件，检查插针对壳体的绝缘电阻，在电压不超过100V的情况下，绝缘电阻不应小于100MΩ。接通电路和气路，当压力信号为量程上限值时，关闭气源，输出电压和读数值应稳定不动。如果输出电压下降，则说明变送器有泄漏，可用肥皂水检查出泄漏部位。
　　传感器电路部分的故障需要首先检查接通电源，在给定输入压力信号后，检查传感器输出端电压信号的状态。若无输出电压，应首先检查电源电压是否正常;是否符合供电要求;电源与传感器及负载设备之间有无接线错误。如果传感器接线端子上无电压或极性接反均可造成变送器无电压信号输出。排除上述原因，则应进一步检查放大器板线路中元件有无损坏问题;线路板接插件有无接触不良现象，可采取对照正常仪表的测量电压与故障仪表对应的测量电压相比较的方法，确定故障点，必要的情况下可更换有故障的放大器板。在对流量型传感器检查时，对J型放大器板应特别要注意采取防静电措施。
　　接通电源，在给定输入压力信号后，若变送器输出过高，或输出过低，且改变输入压力信号和调整零点、量程螺钉时输出均无反应。对于这类故障，除检查变送器测量部分敏感部件有无异常外，应检查变送器放大器板上“振荡控制电路部分”工作正常与否。其次检查放大器板上各运算放大器的工作状况;各部分的元器件有无损坏问题等。此类故障需要更换放大器板。变送器在线路设计和工艺装配质量上要求都十分严格，在实际使用中对出现的线路故障，经检查确认后最好与生产厂家联系更换其故障线路板，以确保仪表长期工作的稳定性和可靠性。