由压电元件的工作原理可知，压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时，它也是一个电容器，晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的两个极板，极板间物质等效于一种介质，则其电容量为

    式中：A——压电片的面积(㎡)；

    d——压电片的厚度(m)；

    ——压电材料的相对介电常数(石英晶体为4.85)；

    ——真空的介电常数()。

    压电元件电荷Q的开路电压U可等效为电源与电容串联或等效为一个电荷源Q和电容Ca并联，如图1所示。

图1 压电式传感器的等效电路

    电容器上的电压Ua、电荷量q和电容量Ca三者关系为：

    压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接，因此还需考虑连接电缆的等效电容Cc，放大器的输入电阻Ri,输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra。这样，压电传感器在测量系统中的实际等效电路，如图2所示。

(a) 电压源 (b) 电荷源
图2 压电传感器的实际等效电路